2025年3月19日上午，冠石科技全資子公司——寧波冠石半導(dǎo)體有限公司在寧波市前灣新區(qū)舉行了盛大的開業(yè)典禮以及新品發(fā)布和通線儀式。寧波市政府對該項(xiàng)目高度關(guān)注，寧波前灣新區(qū)管委會主任、黨工委副書記王兆波與寧波市經(jīng)濟(jì)和信息化局局長王懿棟共同參與見證，寧波前灣新區(qū)管委會副主任、黨工委委員蔡世杰、勵(lì)映忠，浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會秘書長丁勇也隆重出席活動。
活動現(xiàn)場，寧波冠石半導(dǎo)體總經(jīng)理王興平發(fā)表致辭，并宣布寧波冠石55納米光掩模版實(shí)現(xiàn)交付，及40納米光掩模版生產(chǎn)線成功通線。前灣新區(qū)主任王兆波和冠石科技董事長張建巍共同為冠石新產(chǎn)品發(fā)布揭幕，標(biāo)志著寧波冠石半導(dǎo)體的正式開業(yè)?！斑@不僅是冠石科技發(fā)展戰(zhàn)略的重要一步，更是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向自主可控、科技創(chuàng)新的重要時(shí)刻”，張建巍表示。
寧波冠石半導(dǎo)體是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體光掩模版制造的企業(yè)，主要從事45-28納米半導(dǎo)體光掩模版的規(guī)?；a(chǎn)。自2023年4月份開業(yè)籌備以來加速推進(jìn)項(xiàng)目進(jìn)展，同年10月項(xiàng)目正式開工建設(shè)；2024年1月廠房封頂，7月首臺電子束掩模版光刻機(jī)順利交付，該設(shè)備是光掩模版40納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)及28納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)研發(fā)的重點(diǎn)設(shè)備，10月試產(chǎn)、送樣及認(rèn)證；進(jìn)入2025年，不到兩年時(shí)間，實(shí)現(xiàn)了55納米光掩模版的交付及40納米光掩模版生產(chǎn)線成功通線，該產(chǎn)品將廣泛應(yīng)用于人工智能、高性能計(jì)算、新能源汽車、消費(fèi)電子等集成電路制造領(lǐng)域，有望打破國內(nèi)半導(dǎo)體光掩模版在55納米及以上高端技術(shù)節(jié)點(diǎn)國外壟斷的局面。
本次寧波冠石半導(dǎo)體光掩模版制造項(xiàng)目的新品發(fā)布暨通線，是冠石科技戰(zhàn)略布局“一大一小一微”全面落實(shí)的歷史性重要里程碑，更是冠石科技攻克高端光掩模版核心技術(shù)，切入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“卡脖子”環(huán)節(jié)，開啟發(fā)展的新征程。
光掩模版作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游重要的原材料之一，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形轉(zhuǎn)移工具或母版，承載圖形設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的載體，其功能類似于相機(jī)的“底片”。其在芯片設(shè)計(jì)與晶圓制造之間起到了至關(guān)重要的橋梁作用，其精度直接決定了芯片性能的優(yōu)劣，對整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈具有極其重要的戰(zhàn)略意義。長期以來，我國高端光掩模產(chǎn)業(yè)化率極低，成為制約集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵瓶頸。寧波冠石半導(dǎo)體光掩模版制造項(xiàng)目的順利量產(chǎn)，將進(jìn)一步提高我國在半導(dǎo)體關(guān)鍵材料領(lǐng)域的自主可控，完善整個(gè)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。